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カスタムメイドチップ
●～ベンチャー企業ならではの実行スピード オンリーワンの技術を目指しています～
お客様の仕様に合ったカスタムメイドチップを作製致します。
弊社では、PDMS樹脂（polydimethylsiloxane）でのマイクロ構造体の作製を得意としており、少量から量産まで対応が可能です。
半導体、MEMS加工を駆使しあらゆる困難な仕様でもできる限り対応致します。
（流体チップ以外のデバイスも相談に応じます）
また、流体制御素子や表面処理、コネクタ、周辺パーツ等を組み合わせた小型化システムも提案しています。 |
●PDMS製流体チップ
・納期はご注文を頂いてから基本的に2週間で納品致します。（一部例外あり）
●PDMS製カスタムメイドチップの作製方法
（鋳型がレジスト型の時）
①流路パターン決定
②マスク選定→決定（フィルムマスクorクロムマスク）
③レジスト型製作
④PDMSモールディング
⑤アクセスポート穴あけ
オプション
⑥ガラスとのパーマネントボンディング（永久接着）
⑦チュープ接続
PDMS作製方法資料 → こちら
①流路パターン決定
・チップパターン図
：FAXまたはE-mailでお願いします。 → 連絡先(E-mail)
：CAD図はもちろん、手書き図でもWord、PowarPointでも構いません。
尚、CAD図データを送付して頂ける場合の図面形式は、DXF形式（R12）
又はAutoCADLT2000形式（dwg）で3Mb位まで受付出来ます。
・ＰＤＭＳチップ流路寸法精度
通常時、PDMS流路の保証精度は下記となっております。
| 流路幅 |
流路高さ（深さ） |
| 流路幅に対して±１０％ |
流路高さに対して±２０％ |
尚、通常時は鋳型はレジスト型ですが、ご要望により、Si（シリコンウェハ）型も承ります。
（鋳型の強度が必要な時、レジスト型で製作不可能な微細な形状の時など）
・PDMSチップ外形寸法
：通常時のPDMSチップの外形は７０ｍｍ×５０ｍｍとなります。（４インチ基準）
これよりも大きいサイズでも可能な場合がありますのでお問い合わせください。
・製作枚数
：３枚から承ります。
②マスク選定
・マスクの種類はフイルムマスク、クロムマスク、高精度クロムマスクが有ります。
・より微細、高精度を求める場合は高精度クロムマスクの使用をお勧めします。、
・下記表により、マスク種類が変わります。
| マスク種類 |
流路幅 |
| フィルムマスク |
５０μｍ以上 |
| クロムマスク |
５μｍ以上 |
| 高精度クロムマスク |
３～４μｍ以上 |
フィルムマスク使用時のPDMS流路 クロムマスク使用時のPDMS流路
 
＊クロムマスクの方がより鏡面であることがわかります
③レジスト型製作
・厚膜レジストを使用し、鋳型を作成します。お客様と仕様をすりあわせマスクを選択します。
（鋳型の強度が必要な時、レジスト型で製作不可能な微細な形状の時は、Si加工をお勧めします。）
＜厚膜レジストを使用した鋳型の利点＞
・流路の深さを深くできる。（d＝500μｍ以上可能）
・多段階の鋳型を作製することで、流路の高さを途中から変えられる。また、流路内の表面積を稼ぐ。
・より垂直に形成が可能。
・数μｍ～数百μｍまで対応可能（約７００μｍまで）。
⑤アクセスポート穴あけ
・アクセスポートの穴あけサイズは → こちら
⑦チューブ接続
・接続できるシリコーンチューブサイズは → こちら
●PDMSチップ作製例
～PDMSだから出来る自由自在のマイクロ構造体～
  
50μｍL/S D＝100μｍ（レジスト鋳型使用） 上面写真 マイクロコンタクトプリント用
  
φ１μｍウェル（Si鋳型使用） 貫通孔シートφ200μｍ 深さ200μm 2.5μｍLine（Si鋳型使用）
  
1Layer 幅 20μｍ 2Layer 幅１ｍｍ 多層マイクロ構造体 マイクロピラー (Quick time） |
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